日本Anlet安耐特ETS系列无油鲁氏真空泵及台湾Kawake凯威科Screwvac系列无油螺旋式真空泵。此二种产品最大特点就是完全无油、排气无污染、保养简易。可以取代旧式的油封、液封式或甚至无油旋片式真空泵。
台湾Kawake凯威科Screwvac系列无油螺旋式真空泵从一大气压到7.5×10-3torr都可以使用。如搭配鲁氏真空泵使用，更可增加排气速度及降低真空压力到7.5×10-4 torr。
此外，因为Screwvac系列无油螺旋式真空泵采用单段压缩，压缩路径短，封粉或微粒负载高，封系统中的水汽容许量大。泵体内壁与转子皆镀有一屑铁弗龙，所以具备腐蚀的能力。因此，Screwvac系列无油螺旋式真空泵是一款适合较严苛应用，对制程及环境不会产品污染，也不会造成油品的消耗，坚固耐用，易于维护的新产品
以上二款新产品应用范围如下：真空镀膜、真空热处理、真空干燥、真空脱气、真空脱泡、真空含浸、真空包装、真空吸著、真空搬运、真空食品加工、真空烧结、真空充填、真空灌注等。
实际应用产业有：半导体制程真空、液晶显示器制程真空、电子厂中央真空系统、医院中央真空系统、食品医药制程真空、灯具制程真空、冷冻空调制程真空、线路板压合制程真空、光学镜片、金属镀膜真空、VCD&DVD光盘表面真空溅镀、包装印刷真空吸著、玻璃、大理石、金属大型重物真空搬运等