一、用途：
透反射式硅片检测显微镜GM-300E主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器.
二、技术参数
1. 目 镜
|
类 型
|
放大倍数
|
视场(mm)
|
|
大视野目镜
|
10X
|
Φ16
|
2. 物 镜
|
类 别
|
放大倍数
|
数值孔径(NA)
|
工作距离(mm)
|
|
平场消色差物镜（无盖玻片）
|
5X
|
0.12
|
18.3
|
|
10X
|
0.25
|
8.9
|
|
40X
|
0.60
|
3.7
|
|
60X
|
0.85
|
0.26
|
3.光学放大倍数：50X 100X 400X 600X 系统参考放大倍数：50X-2000X
4.载物台：尺寸 185mm*140mm 移动范围 75mm*50mm
5.调焦系统：带限位和调节松紧装置的同轴粗微动 微动格值 0.002mm
6.滤色片组：转盘式，黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
7.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
8.照明系统：6V/20W卤素灯，亮度可调；220V（50Hz）
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
电脑型硅片检测显微镜(GM-300E): 1、显微微 2、适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(GM-300E)：50--2000倍（17寸显示器为例）
五、选购件
1二维测量软件.目镜： 20X 10X(带刻度) 3.物镜：20X 80X