耐高压气体质量流量控制器LF-M011利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
1
量程范围
（0…5，10,20,30,50,100,200,300,500...）sccm
（0…1,2,3,5,10,30，300）slm
2
准确度
±1.0%S.P(≥35%F.S) ±0.5%F.S(≤35%F.S)
3
线性
±0.5%F.S
4
重复精度
±0.2%F.S
5
响应时间
（1…4）sec
6
工作压差
0.05~0.4MPa(2sccm≤FLOW≤10slm)
0.1…0.4MPa(10slm≤FLOW≤30slm)
7
耐压
3MPa(可选10MPa)
8
工作环境温度
5…45℃
9
数字量
RS485 Modbus-RTU协议
10
模拟量
0…5Vd(默认) 4…20mA（可选）
11
供电
24Vdc(默认供电) +15Vdc(可选)，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12
电气连接
DB9
13
漏率
1×10 -8SCCSHe
14
底座材质
316L不锈钢
15
密封材质
氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16
气路接头
Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞可根据用户要求定制