工作原理
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
用途与特点
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。