莱峰气体质量流量控制器LF-A020耐高压系列中型流量气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式 原件、质量流量 控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体 传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理 是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传 感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得 的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的 流量相等。
莱峰气体质量流量控制器LF-A020耐高压准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘 小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压 力的影响，的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工 实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.