Parylene派瑞林真空镀膜机 Series 3000 CR系统专为需在洁净室环境中运行的工艺应用而设计。广*泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
Parylene派瑞林真空镀膜机 Series 3000 CR系统一体化泵架能够显著减少颗粒物排放，从而为洁净室在zui严苛的环境下提供更为清洁和紧凑的整体解决方案。 因在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间，该系统已被全*球众多洁净室设施，例如医药、航空航天、汽车、高科技电子及高等院校广*泛采用，且其应用范围与使用数量仍在持续增长。
Parylene派瑞林真空镀膜机 Series 3000 CR系统具有以下优势：
具备模块化组装结构，并提供可调节尺寸的工艺腔室；
系统支持多种可选配置，包括转盘装置及适配不同基板类型的夹具；
工艺腔室的装载操作于洁净室内完成；
卸载则通过位于过渡区域（灰区）的气闸门实现。
进口Parylene派瑞林真空镀膜机 Series 3000 CR
尺寸
| L:2095mm W:800mm H:1450mm |
| 重量 | 300kg
|
腔体容量
| 140/200/300/800 L |
工艺腔体
| 500mm ?，H: 700mm (140 L) 600mm ?，H: 700mm (200 L) 700mm ?，H: 800mm (300 L) |
等离子源
| 2.45GHz, 1200 W |
气路
| 1 路气体通道（内置工艺腔室的气体分配系统），zui多可扩展至 3 路气体通道。 |
冷却系统
| 8L（机电式冷阱） |
| 真空连接 | DIN 40 ISO-KF |
排气
| 电磁式排气阀 |
真空泵
| 抽速75m3/h |
电气连接
| 三相五线制，交流 50 Hz，电压 400 V / 240 V，zui大功率消耗 8.5 kW |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。
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