派瑞林镀膜设备 Labcoater Series 100是一款具备可更换工艺腔室的高性价比系统，广*泛应用于航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
派瑞林镀膜设备 Labcoater Series 100具有以下特点：
1、结构紧凑、配有移动式支架及小型冷阱，安装位置灵活，便于实验室布局调整；
2、特别适用于小批量生产及科研实验场景；
3、可更换真空腔室设计有助于提升设备清洁效率；
4、配备可拆卸透明上盖，便于实时观察与基材更换操作；
5、系统集成自动工艺控制功能，并支持网络连接，便于数据管理与远程监控。
派瑞林镀膜设备 Labcoater Series 100：
尺寸
| L:850mm W:900mm H:1600mm |
重量
| 80kg |
腔体容量
| 30L |
工艺腔体
| 直径300mm（其他尺寸可定制）
|
冷却系统
| 4L（机电式冷阱）
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真空连接
| DIN 25 ISO-KF |
排气
| 电磁式排气阀 |
真空泵
| 抽速10m3/h
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| 电气连接 | 三相五线制，交流 50 Hz，电压 400 V / 240 V，zui大功率消耗 8.5 kW |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜机既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。
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