MKS 真空计390100-YE390100-YE.Micro-Ion? 替换真空计专为安装 MKS 390 Micro-Ion? ATM Micro-Ion?/Conductron/Piezo 真空计模块而设计，并具有尺寸为 NW25 ISO-KF 的接头。从真空系统中取出后，只需使用螺丝刀即可在现场 更换这种可现场更换的仪表组件。
Micro-Ion?ATM模块结合了经过验证的微电离测量技术与微型传导热损耗传感器和两个压阻传感器，可提供从高真空到大气的精确连续压力测量。使用其膜片传感器，该产品能够提供精确的压力到大气，以及真空室与环境压差的精确指示。的传感器设计消除了在较高压力下影响热损失传感器性能的热效应。这个小模块结合了所有四个传感器
The Series 390 is offered withversions having two or three optional set point relays