产品/ Product advantages
适用范围:2 ml/min ---30 l/min精度:±1.0%F.S，耐压:3Mpa,信号：RS485 RS232 MODBUS协议，供电：15-24VDC用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，数字电路，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。
用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，数字电路，可靠性高，安装简单，操作方便。
用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量控制器LF-N 产品参数
产品型号
LF
满量程范围
SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比
控制器50:1
流量计100:1
精度
±1.0%F.S
线性
±0.5%F.S
重复性
±0.2%F.S
阀门类型
常闭阀
响应时间
≤1S
工作压差
0.1...0.5Mpa
.大耐压
3MPa
工作环境温度
5...55℃
泄漏率
1×10-Pa.m/s
通信信号
RS232/RS485 MODBUS协议
供电方式
24VDC（250mA）
密封材料
丁晴橡胶 氟橡胶
接头尺寸
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
电器接头
DB9针、RJ45通讯接口