EQ-10 EUV光子源
EQ-10是一种紧凑，易于使用，可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq久经验证的使用氙气的Electrodeless Z-pinch?技术。EQ-10 EUV光源非常适合计量和研究应用。EQ-10系列在全球已交付和安装了30多个，由于其可靠的可靠性，易用性和较低的运行成本，已成为EUV社区的主要EUV来源。
Energetiq EQ-10 EUV Source的模块化设计使其可以集成到过程工具中。该系统包括无电极Z夹源组件，真空和气体子系统，功率传输子系统以及控制电子设备。EQ-10能够将高达10瓦的带内EUV传送到2pi球面度中，并将以高达2 kHz的脉冲重复频率连续运行。