EQ-10HR高重复频率10 kHz EUV源
EQ-10HR高重复频率10 kHz EUV源
EQ-10HR高重复频率10 kHz EUV源
预期用于HVM的EUV源将以10 kHz或更高的脉冲重复频率运行。为了模拟以这种脉冲速率工作对光学器件寿命的影响，例如，需要高重复率的计量源。Energetiq EQ-10HR EUV光源是一种紧凑，易于使用，可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq久经考验的
使用氙气的Electrodeless Z-pinch?技术。EQ-10HR高重复频率EUV光源非常适合需要HVM仿真的计量和研究应用。
EQ-10HR是一个独立系统，可以集成到过程工具中。该系统包括无电极Z夹源组件，磁悬浮真空泵子系统，气体输送子系统，功率输送子系统和控制电子设备。EQ-10HR能够将高达0.5 mJ /脉冲的宽带EUV传输到2pi球面度中，并且将以高达10 kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了适应各种应用的不同要求，源工作条件是用户可调的。EUV光输出可根据用户要求针对峰值功率或峰值亮度进行优化。在典型的操作条件下，等离子体的直径通常小于1mm。在系统外壳的侧面为用户提供了一个简单而灵活的光学接口，以连接到应用程序设备。自定义界面可满足特定的客户要求。用户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。
EQ-10HR易于安装，仅需电源，冷冻水供应，清洁的干燥压缩空气和氙气供应即可。