EQ-10HP 20瓦EUV光源
EQ-10HP 20瓦EUV光源
EQ-10HP 20瓦EUV光源
EQ-10HP是紧凑，易于使用，可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq久经验证的使用氙气的Electrodeless Z-pinch?技术。EQ-10 EUV光源非常适合计量和研究应用。EQ-10凭借其久经考验的可靠性，易用性和较低的运行成本，已在全球范围内交付和安装了30多种，已成为EUV社区的主要EUV来源。
Energetiq EQ-10 EUV Source的模块化设计使其可以集成到过程工具中。该系统包括无电极Z夹源组件，真空和气体子系统，功率传输子系统以及控制电子设备。EQ-10HP能够将高达20瓦的带内EUV输送到2pi球面度中，并且将以高达2.5kHz kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了适应各种应用的不同要求，源工作条件是用户可调的。EUV光输出可根据用户要求针对峰值功率或峰值亮度进行优化。在典型的操作条件下，等离子体的直径通常小于1mm。在系统外壳的侧面为用户提供了一个简单而灵活的光学接口，以连接到应用程序设备。自定义界面可满足特定的客户要求。用户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。