TV-2KG 分子泵系统
·最典型应用-针对薄膜沉积设备而特别设计的抽气系统
·是目前性能最优,造型最紧凑的机型
·最新型的一体式抽气理念,旨在实现最大生产量和最短停机时间
系统界面
·一体化 的机型包括了涡轮分子泵,驱动配置,供电电源配置,气体保护配置机通信配置
·通用 的电子接口,便于用户使用控制软件
·模拟I/O信号,标配为RS232或RS485接口
·可选配Varian 通用总线控制接口
应用知识
·在特定的应用领域,通用产品无法全面满足性能要求
·TV-2KG是应广大用户的真实需求而开发,可实现用户满意度
·配备独特,为工业镀膜行业量身定做
·满足工业生产的工艺要求,得到工业界的认同