复合分子泵是由蜗轮和弧线盘体组合而成的一种机械式真空泵，因此它即有蜗轮抽速大的特性，还兼备弧线牵引高压缩比的特点，这种特性与特点使泵体不仅在高压下具有很的大抽速，同时对分子量大的气体还具有很高的压缩比，这样泵体在运转中在不需要冷阱和油挡板时,高真空区域也不会受到油蒸气的污染。它广泛应用于高真空和超高真空获得的各个领域。