felles红外显微镜专门为微电子研发和制造而设计的红外成像显微和热成像显微镜,它是一款科研级显微热成像仪,显微热像仪,在微米尺度给出电子器件和芯片的温度分布,能够非接触式地测量电子器件的温度分布,查找热点hotspots。
felles红外显微镜对于分析和诊断半导体器件热表现非常有用,可用于探测热点和缺陷 电子元件和电路板故障诊断 测量结温 甄别芯片键合缺陷 测量热阻封装 确立热设计规则等领域。
红外显微镜可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题。
就MEMS的研发而言:
空
间温度分布和热响应时间这两个参数对于微反应器,微型热交换器,微驱动器,微传感器之类的MEMS器件非常重要。到目前为止,还有非接触式的办法测量
MEMS器件的温度,红外成像显微镜能够给出20微米空间分辨率的热分布图像,是迄今为止测量MEMS器件热分布的有力工具。
felles红外显微镜特点:
包括了一些非常重要的硬件,这些硬件对于分析和诊断半导体器件非常有用。
光学载物台:坚固而耐用,具有隔离振动的功能;
聚焦位移台:用于相机的精密聚焦和定位;
X-Y位移台:用于快速而精密地把测量区域定位到相机的视场中;
热控制台: 具有加热和制冷功能,用于精密器件的温度控制;
Email: info@felles.cn 或 felleschina@outlook.com
Web: www.felles.cn (激光光学精密仪器官网)
www.felles.cc (综合性尖端测试仪器官网)
www.f-lab.cn (综合性实验室仪器官网)
热成像显微镜应用
*半导体IC裸芯片热检测
*探测集成电路的热点(hotspots)和短路故障
*探测并找到元件和电路板上缺陷
*测量半导体结点温度(结温)
*辨别固晶/焊线/点胶缺陷
*测量封装热阻
*确立热设计规则
*激光二极管性能和失效分析
*MEMS热成像分析
*光纤光学热成像检测
*半导体气体传感器的热分析
*测量微交换器的热传输效率
*微反应器的热成像测量
*微激励器的温度测量
*生物标本温度分析
*材料的热性能检测
*红外显微镜热流体分析