一、系统应用/关键技术
金属材料内部组织检测/分析
半导体材料分析
热处理工艺分析
芯片缺陷分析
二、技术参数
1.目镜:WF10×平场分划目镜10×(0.1mm格值)
2.物镜:无限远平场消色差物镜五个:PL4X、PL10X、PL20X(明暗场)、PL40X(弹簧、明暗场)、80X(弹簧,干系)
3.三目镜筒:铰链式,倾斜30°,
4.观察方式:明场、暗场、偏光(无需换镜体即可实现)
5.同轴粗微动调焦机构:调节范围36mm微动格值0.002mm。
6.机械工作台:185mm×142mm,移动范围75×55mm。
7.照明光源:输入电压110V~220V(宽电压自适应),输出电压0~12V,(0~50W)无级变光,连续可调。
8.偏光装置:可插入式起偏振片,适合观察金属非夹杂物、组织异向性观察、
9.滤色片:3片
三、放大倍数
光学放大:40x-800X
四、系统组成
金相显微镜+数字成像系统+专业图像分析系统+PC工作站+打印机
五、选购件
1.130万像素~500万数码成像系统可选2.专业金相定量分析软件可选3.金相制样设备可选
本系统广泛用于金相、岩相、集成电路、晶体等的检验科学研究工作。仪器造型新颖、结构稳固、功能齐全,采用了无穷远成像系统,全新平场消色差物镜和大视场目镜,设有专用摄影、摄像接口,其成像清晰平坦、视域开阔,具有优良的金相组织及其它细微结构鉴别能力。内置明视场、暗视场及偏光系统,可方便进行摄影、摄像及图像分析工作,确保使用者快速操作。