DCA PLD500是先进的脉冲激光沉积系统。该系统具有很强的灵活性,可配置多种选配件进而满足不同用户的需求。 PLD500适用于1~3英寸衬底尺寸,该系统具有高真空和超高真空模式,对于超高真空模式需要配备装载室和烘烤系统。