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AMC控制分三步：
1、评估设施内外的空气品质以确定污染目标和对AMC控制系统可能受到的性能影响。
2、选择和制定AMC管理策略。
3、监控受控环境和AMC控制系统的性能。
上图是PMS公司的三个基本的吸附剂试管。黑色是用于酸；带帽的白色用于碱；带密封端的白色适用于有机物。
对监控的跟进是很重要的。真实的监控程序可以让你评估AMC控制的是否成功，以便建立长期的空气品质趋势。
在分子污染控制中的首要步骤是识别污染的来源和通过调整材料和工艺流程以去除污染物。空气中的很多有机污染物可以通过对无尘室材料、生产线技术的选择等来加以控制。
微环境的使用是一种通用而且能有效节约成本的方法，它可以缩小控制区域、产生洁净的环境。目前已经有很多晶圆盒、光罩盒等已转入微环境生产，这样不仅可以控制尘粒污染,也可将产品与处界环境的分子污染隔离。在产品对分子污染特别敏感的区域，可以使用气体处理系统和化学过滤的方法。
在FOUP、SMIF、FOSB和光罩盒上对挥发物和分子交换是个严重的问题。在晶园和光罩的贮存区需要进行分子污染环境保护。但是，包装盒会释放气体到贮存的产品上，pods外界的污染也会进入pods内部。
在宽敞的洁净室空间，如果认真地选择新鲜风的入口，风机系统会控制基本的气体污染。在组成空气处理系统时，人们通常会选择检修时间短的。因此，需在AMC控制水平与压降、使用寿命间进行平衡。
空气处理系统通常用来处理SOx, NOx, 臭氧, 有机挥发物(VOCs)和一些产品特定需控制的污染，比如氯、有机磷和氨等。 |