建筑围护结构产尘（屋顶、墙、地板）
洁净室建筑表面发尘量｛粒/（min·㎡地面）≥0.5μm｝
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序号 |
建筑表面发尘量 |
资料来源 |
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1 |
（0.8~1）*104 |
电子部十一院《设计通讯》1975年 |
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2 |
（0.3~0.9）*104 |
电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年 |
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3 |
0.77*104 |
电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975 |
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4 |
4.5*104 |
电子部十一院《出国考察报告》(74)013 1974年 |
洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较
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项目
粒径
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洁净室建筑表面发尘量
｛粒/（min·㎡地面）｝ |
人员发尘量｛粒/(人·min)｝ |
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静止(基本静止) |
人员正常操作 |
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≥0.5μm |
1.25*104 |
10*104 |
50*104 |
4、工艺生产过程产尘（与生产设备、生产工艺、生产过程有关，不同的生产过程、工艺产尘量不同）。