产品介绍
SEMI Chiller温控器zonglen温控器ZU35主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度准确控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。
产品详情
特点
先进的控制技术,模糊控制,前馈控制,确保设备有较高的温控精度和良好的温度跟随性
先进的节能技术,Hot-Gas,变频技术等大幅降低了设备能耗
先进的密封和检漏技术,很大的减少了循环液的泄露和挥发情况
超低温制冷技术,单/多级复叠技术,多层复合保温技术
支持用户多通道/多类型定制需求
成都中冷低温科技有限公司是一家创新型高科技企业,拥有一支专业知识扎实、实战经验丰富的年轻团队,主要成员来至于国内外知名学府或科研院所。公司专注于低温领域,提供常温…... 了解更多>>