产品介绍
产品信息：
在实际的科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低得Mini型探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，光学底座，探针座，三维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
创谱仪器Mini型手动探针台IV/CV半导体分析探针台晶圆测试
主要技术指标：
★结构紧凑，功能实用，质量轻巧，方便移动
★最大可用于6寸以内样品测试
★兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降
★漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
★精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，精密位移，无回程差设计
★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
★1微米以上电极/PAD使用
创谱仪器Mini型手动探针台IV/CV半导体分析探针台晶圆测试
★模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
主要技术参数：
规格/参数 |
型号 | Mini-4A | Mini-6A | Mini-4B | Mini-6B |
外形尺寸（LWH） | 380×260×355mm | 450×300×355mm | 380×260×355mm | 450×300×355mm |
电力需求 | 220VC,50-60HZ |
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 4寸 | 6寸 |
行程 | 三维调整，XY行程50mm，Z轴行程60mm | 整体三维调整，XY行程100mm，Z轴行程13mm |
移动精度 | 10μm | 5μm |
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 |
定制模块 | 可定制位移行程和精度 |
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm |
机械精度 | 标配10μm，可以升级5μm/3μm/1μm | 标配3μm，可以升级3μm/1μm |
漏电精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） |
安装方式 | 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附 |
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC |
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（最大可升级到720倍） |
CCD像素 | 2000W |
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm |
显示器 | 12寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） |
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 |
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 |
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） |
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 |
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好的使用效果和性价比 |
产品应用：
◆LD/LED/PD的光强/波长测试（集成我司光电仪器）
◆材料/器件的IV/CV等特性测试
◆晶圆分析测试
创谱仪器Mini型手动探针台IV/CV半导体分析探针台晶圆测试
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