耐高压气体质量流量控制器LF-M011_成都莱峰科技有限公司

成都莱峰科技有限公司主要从事流体检测设备、流体自动化控制设备、供气系统的研制、开发、制造、销售以及相关的服务。同时生产各种分析仪器、仪表、气体减压调节器及半导体…... 了解更多>>

1	量程范围	（0…5，10,20,30,50,100,200,300,500...）sccm （0…1,2,3,5,10,30，300）slm
2	准确度	±1.0%S.P(≥35%F.S) ±0.5%F.S(≤35%F.S)
3	线性	±0.5%F.S
4	重复精度	±0.2%F.S
5	响应时间	（1…4）sec
6	工作压差	0.05~0.4MPa(2sccm≤FLOW≤10slm) 0.1…0.4MPa(10slm≤FLOW≤30slm)
7	耐压	3MPa(可选10MPa)
8	工作环境温度	5…45℃
9	数字量	RS485 Modbus-RTU协议
10	模拟量	0…5Vd(默认) 4…20mA（可选）
11	供电	24Vdc(默认供电) +15Vdc(可选)，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12	电气连接	DB9
13	漏率	1×10^-8SCCSHe
14	底座材质	316L不锈钢
15	密封材质	氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16	气路接头	Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞可根据用户要求定制

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