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产品介绍

A010系列小型流量气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响，的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.

模拟式气体质量流量控制器LF-A010

采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。主板采用多层布线，具有好的抗干扰能力，良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大，.大满量程可达30ln/min.耐腐蚀，耐高压至10MPa.5预热时间短，零漂小，可靠性高。±1.0%F.S的精度、精度高，零飘小，线性度好。

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  模拟式气体质量流量控制器LF-A010产品用途

  用于对30L内流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，数字电路，可靠性高，安装简单，操作方便。

  

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  模拟式气体质量流量控制器LF-A010应用领域

  用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。