传感器类型:
| 电感式
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取样长度:
| 0.08, 0.25, 0.8, 2.5和8mm R3y, R3z, Ra, Rc, Rda, Rdc, Rdq, RHSC, Rku, RIn, Rlo, RIq, Rmr(C), Rmr, Rp, Rp1max, Rpc, |
粗糙度参数:
| Rq, RS, Rsk, RSm, Rt, Rv, Rvo, Rv1max, Rz, Rz(DIN), Rz(JIS), Rz1max Wa, Wc, Wda, Wdc, Wdq, WHSC, Wku, WIn,
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波纹度参数:
| Wlo, WIq, Wmr(c), Wmr, Wp, WPC, Wq, WS, Wsk, Wsm, Wt, Wv, Wvo, Wz Pa, Pc, Pda, Pdc, Pdq, PHSC, Pku, PIn, Plo,
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末滤波参数:
| Plq, Pmr(c), Pmr, Pp, PPC, Pq, PS, Psk, Psm, Pt, Pv, Pvo, Pz, Pz(JIS)
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滤波器:
| Gaussian高斯滤波, 2CR滤波, 2CR PC滤波
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高度测量不确定度:
| 2% + 6nm
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角度测量不确定度:
| 1% ( ±35°角度范围内)
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半径测量不确定度
| 0.1 - 12.5mm= 2% to 0.04% 12.5 - 25mm= 0.04% 25- 1000mm= 0.04% to 0.2%
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横向驱动行程
| 0.1mm - 50mm
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横向数据点间距
| 0.5μm
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直线度误差(Pt)
| 0.4μm 在50mm内; 0.2μm在任意20mm
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测量/移动速度
| 10mm/s *大- 0.25mm/s*小
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垂直方向测量范围
| 1mm(60mm 测针臂); 2mm ( 120mm测针臂)
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垂直方向分辨率
| 16nm在1mm范围内;3nm在0.2mm内 |