AerotechABL2000
- 产地: 美国
- 关注度: 次
- 品牌: Aerotech
- 型号: ABL2000
- 厂商性质: 生产型,贸易型,
- 价格: 7999
- 添加时间: 2014/9/19
产品介绍
ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um