来宝网移动站

产品介绍

设备特点
1、 真空室上开式气动助力；主要参数
1、 不锈钢真空室φ350X350；
2、 工作真空度8X10-4Pa；
3、 永磁靶：φ50，靶高可调节，500W；
4、 电磁靶：φ50，靶高可调节，500W；
5、 气压控制：两路质量流量计；
6、 观察窗：φ100；
7、 基片台可加热：最高加热温度400℃； 用途
主要用于实验室的磁控溅射(包括永磁靶、电磁靶)镀膜和蒸发镀膜。