产品介绍
技术参数
活动范围 ~300mm x 300mm
测量范围 100?~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40?/20?,4?(option)
测量速度 1~2 sec./site(fitting time)
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
选择 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp
主要特点
尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
重量 400kg
类型 自动的
测量方法 无连接的
测量原理 反射计
特征
测量迅速，操作简单
非接触式，非破坏方式
优秀的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
电荷耦合器件照相机
自动调焦
仪器介绍
1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，以它突出的表现得到了世界范围的认可。
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