| 主要用途:金的离子溅射,真空蒸碳 产品特点:操作简便,性能优越,质量稳定,功能丰富 技术参数 ? 仪器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H) ? 真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H) ? 靶(上部电极): 50mm×0.1mm(D×H) ? 样品台: 50mm (D) ? 操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar ? 工作电压: 0-1600V (DC)可调 ? 溅射电流: 0-50mA ? 溅射定时: 1-9999S ? 蒸碳电流 0-10A(AC) ? 真空泵: 2升两级机械旋转泵 |