可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。 使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (最大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。 具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 100%) 应用于透明层/薄膜。 兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。 独有的稳定性。 | 
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