产品介绍
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为使油的补充期延长，采用了2.5~4.0升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式和氟橡胶密封件。选用油雾过滤器、油返回机构后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
产品用途
镀膜、溅射、离子镀
气体置换、充填、真空隔热
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析机器、检漏装置
真空包装、真空吸附
搬运、真空成形、真空铸造等
规格表
*1. 用皮拉尼真空计测得的值，如用麦氏真空计测量则约为 6.7×10-2Pa 。
*2. G.V：气镇阀的缩写。机 型
项 目VDN601VDN901
几何抽速m3/h（L/min）50Hz60（1000）90（1500）
60Hz72（1200）108（1800）
极限压力*1PaG.V关*26.7×10-1
G.V开*22.0
电 机kW(极）2.2（4）3.7（4）
V - Hz380/400/415-50Hz、380/400/440-60Hz
使 用 油ULVOIL?R-7
所需油量 L上 限4
下 限2.5
重 量 kg88104
选购件TMN401TM-2
油净化装置、油分离器
ULVAC其他产品型号
DA标准型膜片泵系列:DAL-5S;DAP-6D;DAP-12S;DA-15S;DA-15D;DA-30S;DA-20D;DA-40S;DA-30D;DA-60S;DA-41D;DA-81S;DA-60D;DA-120S;DA-121D;DA-241S;DAT-50D;DAT-100S;DAL181D;DAL-361S.
DTC特富龙型膜片泵系列：DTC-21;DTC-41;DTC-60.
高真空型膜片泵系列：DAM-010;DAU-100;DAU-100H;DAU-20;DTU-20;MD-4;MD-4C;DM-8;MD-8C.
减压加压两用型真空泵：DAP-15;DAP-30.
标准摇动活塞型真空泵：DOP-9D;DOP-40D;DOP-80S;DOP-80SP;DTP-45D;DTP-90S;DTP-90D;DTP-180S;DTP-180SQ;
回转翼型真空泵：DSB-151;DSB-251;DSB-451;DSB-601.
由创意构思诞生的DOP-Quattro系列:DOP-200S;DOP-100T;DOP-50F;DOP-100ST;DOP-50DT;DOP-50S4;DOP-300S;DOP-150T.
罗茨型真空泵：MBS-010;MBS-030;MBS-050.涡旋标准型真空泵：DIS-090;DIS-250;DIS-500.
超静音型涡旋真空泵：DVS-321;DVS-631;
紧密型真空泵：DVT-300;
性价比高的低真空型真空泵：DISL-100;DISL-500.
油旋片标准型：G-5;G-5DA;G-10DA;G-25SA;G-20DA;G-50SA;G-50DA;G-100S;G-100D.
机能更高的豪华型真空泵：GVD-050A;GLS-051;GLD-040;GLD-051;GLD-136A;GLD-136C;GLD-201A;GLD-201B;GLD-280;
耐腐蚀性的真空泵：GCD-051X;GCD-136X;GCD-201X.
高速回转紧密型真空泵：GHD-030;GHD-060;GHD-120;
小型高真空排气装置：VPC-050;VPC-050A;VPC-250F;VPC-400.
涡轮分子泵小型高真空排气装置：VPT-050;VPT-030;
罗茨泵排气机组：VPM-010;VPM-030;VPM-050;
高速型真空蒸发装置：VPC-1100;
小型高真空蒸发装置；VPC-060;VPC-060A;VPC-260F;VPC-410;
有机膜蒸发实验装置：ELORA-100;ELORA-200;ELORA-500;
小型高频溅射装置：RFS-200;
小型磁控溅射装置：SCOTT-C1;SCOTT-C3;
超小型离子溅射装置：VPS-020;VPS-050;
泵油清洁系统：OFC-136XA;OFC-201XA;UFO-003;UFW-003;UFO-012;
便携型吸气器：MDA-015;MDA-050;MDA-020C;
真空泵油：SMR-100矿物油；SO-M合成油；ULVOILR-2合成油；
油雾过滤器:OMT-050A;OMT-100A;OMT-200A;
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