产品介绍
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算
| 机型 |
sis 1200 |
| 工作台 |
尺寸 |
250 mm×174 mm |
| 倾斜度 |
±3 ° |
| 测量行程 |
x:150mm y:100mm |
| z轴行程 |
50mm |
| 运动方式 |
手动 |
| 扫描速度 |
30μm/sec |
| 垂直分辨率 |
0.1nm |
| ccd |
黑白ccd， 640×480 像素 |
| 物镜安装架 |
手动导引五孔式 |
| 镜头选配 |
镜头：5×、10×、20×、50× |
产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。
应用领域
1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工
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