产品介绍
NIKON将CFI60光学系统用于集成电路检查显微镜，由此获得前所未有的高对比度图象。
CFI60光学系统是将尼康著名的CF（消色差）设计与无限远光学系统结合在一起，使得物镜不仅工作距离更长，而且数值孔径更高；符合SEMI S2-93A,S8-95S设计；利用计算机辅助工程系统（CAE）队机身进行防震设计；具有全面的防污染措施。
NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D规格
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调焦机构
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行程29mm,粗调12.7mm/转，
微调0.1mm/转 1µm/格
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反射照明器
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12V100W卤素灯；电动孔径光阑（中心可调）
固定型视场光阑；可选配小孔光阑
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透射照明器
（仅L200D）
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12V100W卤素灯；内置式孔径光阑；
LWD聚光器
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物镜转换器
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固定式六孔万能物镜转换器（电动），具有DIC插槽。
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目镜筒
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超宽视场可倾式三目镜筒
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载物台
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8X8载物台（205X205mm）（透射50X150mm）
粗微移动可以互相转换，X-Y方向微动手柄位置固。
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目镜
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CFI目镜系列
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物镜
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CFI LU/L PLAN系列
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相关链接：http://www.tokyo-instrument.com
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