产品介绍
E101XPro智能尘埃粒子计数器0.1微米etiedt奕泰净科
一、简介：
E101XPro型是苏州奕泰环境科技有限公司新一代智能激光尘埃粒子计数器。专为半导体制造及其他高洁净度要求行业研发的高精度粒子检测设备。该仪器采用先进的激光散射原理，能够准确测量空气中不同粒径的悬浮颗粒物，适用于洁净室、无尘车间、实验室等环境的空气质量监控。
E101XPro检测粒径档可达0.1μm,可检测ISO7-ISO1的洁净环境,采样流量2.83L/min,专为半导体行业高精度洁净环境检测设计,突破传统精度局限，检测光刻胶挥发,设备磨损产生的亚微米污染颗粒,满足纳米制程对ISO1级洁净度的严苛要求。仪器具有检测精度高,人机界面友好,功能丰富,操作简单。RS485/RJ45等丰富的系统接口可连接MES系统，满足FDA21 CFR Part11电子审计要求。满足ISO21501-4标准
本产品应用于半导体、新能源、电子、光学、精密机械，化学、医药卫生、航空航天，等部门。
二、优势特点：
◆不锈钢壳体，耐受洁净室常用消毒剂
◆10.1寸高清触控屏，操作简单
◆房间名称自定义，一键存储一键调取
◆Android操作系统，中、英文界面
◆单点粒子变化趋势图实时显示
◆审计追踪功能，三级权限管理
◆符合FDA 21 CFR Part 11
◆电子记录、真·电子签名
◆至少10，000，000条采样数据存储
◆内置高效过滤，防止二次污染
三、技术参数：
型 号 Model | E101XPro |
采样流量 Flow | 2.83L/min（国优≤±3%） |
粒径通道 PM Ranges | 八通道0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0、5.0μm |
语 言 Language | 默认中文、英文 |
显 示 Display | 10.1寸高清触控显示屏，实时显示粒子趋势分析图 |
激光光源 Laser Class | 半导体激光光源，寿命大于10年 |
计数效率 Particle size resolution | 50%±20%@0.1μm，符合ISO21501-4 |
数据存储 Data storage | 约10000000条普通采样数据，100000条统计模式数据 |
权限设定 Permissions | 多级权限控制管理，admin、操作员、工艺员等 |
数据通讯 Data Communication | USB、Internet、WiFi、Bluetooth等 |
自净时间 Time of Self-purification | ≤10min |
浓度上线 Maximum Concentration | 1500颗/L，采样气体中不得含有酸碱等腐蚀性物质 |
采样周期 Sampling Mode | 1s-999999s之间自行设定 |
标准 Standards | CGMP、ISO21501-4、GB/T29024.4、GB/T25915.1等 |
警 报 Alarm | 内置蜂鸣警报器；电量警报、计数警报等 |
排气过滤 Air-out filtration | 内置HEPA过滤器(＞99.997%@0.3μm)防扰气流扩散 |
电 源 Power Supply | AC220V±10%@50-60Hz |
电 池 Battery | DC16.8V(内置可充式锂离子电池) |
打 印 Printer | 内置热敏打印机、可选蓝牙针式打印机 |
工作环境 Work environment | 温度：10℃～35℃，湿度：0～99%RH，大气压：86-106kPa |
外 壳 Housing Material | 不锈钢,耐受常用消毒剂 |
外型尺寸 Size | 279mm×202mm×295mm |
整机重量 Weight | 6.3Kg |
E101XPRO电子半导体专用尘埃粒子计数器，采用激光散射技术，高精度检测空气中微粒，适用于洁净室与无尘车间，助力半导体行业提升生产环境质量，苏州奕泰环境科技有限公司国产0.1微米尘埃粒子计数器选etiedt奕泰净科，性能稳定，精度高；0.1μm粒子监测，实时预警光刻区/蚀刻车间潜在污染源，降低晶圆表面缺陷率。
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