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1、扫描电镜样品的基本要求

首先，导电性能好，样品在电子束反复扫描下表面电位不会升啊，避免电荷效应；

其次，热稳定性能好，电子束温度较高，导热性差的样品在观察时会漂移，图像不稳定有些热敏感材料会损伤，观察部位起泡、龟裂、出现空洞；

最后，二次电子和背散射电子产率高；

简单的说

1）样品的导电性

2）样品的尺寸

3）样品的清洁干燥

4）粉末样品的固定

5）组织、夹杂物试样的制备

因DBSD的样品分析时要倾斜70°等特性，EBSD的样品制备要求更高一些，表面平整、清洁、无残余应力；需要绝对的取向数据时，样品外观坐标系要准确，尺寸约为1-3CM或稍小一些。

2、样品的制备

1）试样的镶嵌

什么时候镶嵌：

a)在看边缘信息时

b)试样太小或者形状很不规则时

镶嵌类型分以下两种：

热镶嵌法：首先要保证发生热固话或热塑性的温度不会导致被镶嵌试样组织发生变化。通常推荐热镶嵌方式。

冷镶嵌法：环氧树脂或丙烯酸树脂

2）试样的清洁

样品受污染或SEM 受到污染会导致图像质量变差，所以清洁样品很重要，可用吸耳球吹或者将样品放入丙酮或者酒精中，超声清洁至少10秒。

3）试样的磨抛