来宝网 2009/6/16点击2839次
微小孔及小间隙内壁粗糙度仪
※ 直径100μm的微小孔测量
※ 直径35μm的高度探针管嘴
※ 垂直解析度5nm
※ 9个轴对准所有的孔嘴
产品520 TPR 是专为测量微小孔及小间隙内壁粗糙度而设计，可得到非常精确的粗糙度值 （Ra'' Rt'' Rz'' RSm...)
为了实时对准被测孔，本仪器配备了3个自动旋转轴及3个自动转换轴。
由微量钨和碳纤维组成的传感器，能实现内部形貌的精密测量。这归功于本公司在框架结构下开发的LVDT技术。
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技术规格 |
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X，Y，Z 轴范围 (mm) |
Up to 200 x 200 x 200 (motorized) |
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解析度 (μm) |
0.5 (0.1 in option) |
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形貌的直线度 |
Up to 0.6 μm x 200 mm |
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尺寸 |
L900 x W710 x H1980 |
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重量 (kg) |
650 |
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PheNIX技术 |
由ALTIMET公司开发，同时满足工厂及实验室使用 |
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最大检测速度 |
250 μm / s |
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探针 |
AltiProbe NEEDLE |
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原理 |
特殊设计的感应传感器 |
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范围 |
150 μm to 1.5 mm |
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垂直解析度 |
2 to 60 nm |
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侧面解析度 |
2 μm stylus radius – diameter of 35 μm |
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频率 |
up to 30 KHz |
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探针 |
AltiProbe CLA |
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原理 |
白光CLA (Chromatic Light Aberration) |
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范围 |
Modular confocal optical probeof 300 μm |
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垂直解析度 |
6 to 600 nm (accuracy: 20 nm to 3 μm) |
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侧面解析度 |
up to 1.1 μm |
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探针 |
AltiProbe Inductive |
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原理 |
标准电感传感器或特定的触针 |
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范围 |
150 μm to 1.5 mm |
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垂直解析度 |
2 to 60 nm |
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侧面解析度 |
2 μm stylus radius 60°or 90° or customized |
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配备 |
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分析软件 |
Altimap suite: Lab to line interface (control card). Self macro analysis |
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CCD Camera |
测量区域的观察和选择 Zoom up to x1200 |
