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DLC膜磨损特性评估 日本MSE微粒喷浆冲蚀法

DLC(Diamond-Like Carbon)films are used in various fields because of their low coefficient of friction and their high wwar resistance. Although there are many evaluation techniques for the surface strength of DLC films,those are not suffciently established now. Regardng this background, we hace proposed a new type of solid particle impact(micro slurry jet erosion: MSE)test to swiftly evaluate the wear properties of thin hard coatings.

冲蚀磨损是指液体或固体以松散的小颗粒按一定的速度或角度对材料表面进行冲击所造成的一种材料损耗现象或过程。它广泛存在于机械、冶金、能源、建材、航空、航天等许多工业部门。

MSE微粒喷浆冲蚀法（定量测定）是用冲蚀磨损的方法评估涂层，是世界最新的材料评估方法。MSE微粒喷浆冲蚀法是指恒定的压缩空气与浆料在喷嘴中混合后，最终高速喷射到涂层材料表面，持续对材料表面进行冲蚀，材料磨损量随表面强度而变化。再通过试验机将磨损量的变化转换成磨损率，以此来评估和对比各种材料表面强度。适用于所有涂层、镀层、镀膜，可很好地评估超硬、超软、透明、超薄、复合涂层等。

固体微粒1.2μm，可产生10-50mm磨痕，样品尺寸为30mm*30mm*10mm，磨损面积为1mm²，喷射速度（100m/s），喷射角度为90度。

日本涂层/材料综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）——超硬、超薄、透明、超软、复合涂层的最新评估方法，适用所有涂层、镀层、镀膜。

可用于评估光学涂层、DLC、汽车零部件、滑动表面、液晶膜、CVD/金刚石、切削工具等。

可用于评价：涂层强度数值话、表面至基体的强度变化、涂层与涂层/涂层与基体的结合力、评价镀膜工艺、评价涂层的均匀度。

涂层/材料综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）仪器特点：

1、 MSE是市场上唯一的可以评估坚硬涂层的试验机，对坚硬涂层具有高分辨能力，可对多种坚硬涂层进行评估，如TiN，DLC（类金刚石镀膜），CBN（立方氮化硼）和金刚石等，填补了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的空白。

2、MSE也是唯一的可对多涂层进行精确评估的试验机。

3、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的，可在不破坏基体材料的情况下，对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的精确控制，具有很好的重复性。

4、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1μm的磨损深度只需几秒时间，Si晶片约3s，蓝宝石约75s，TiN薄膜约350s，DLC约8000s。