采购信息
我要咨询TC WAFER晶圆测温系统 高低温探针台晶圆测温系统
- 发布时间：
- 2023/12/9 9:01:44
- 有 效 期：
- 还剩-497天
- 采购数量：
- 面议
- 所 在 地：
- 湖南省长沙市电信
- 浏览次数：
TC wafer 规格
8寸晶圆，至少12个测温点位
无线传输
随wafer配接收模块（电脑）且附带安装好测温软件
软件能显示升降温曲线， 温区map,并能分析温度数据
测温区间≤800℃； 此条件下将可与刻蚀模组共用
L1尺寸1米（腔体中心至腔壁）L2尺寸20cm(腔壁密封面) L3尺寸1米（腔壁外至信号输出模块）
