电子束刻蚀系统

1 反应离子刻蚀（RIE）/沉积（PEVCD）等离子处理系统

2 圆筒式等离子处理系统

3 装载互锁式（Load Lock）感应耦合等离子（ICP）处理系统

4 反应离子刻蚀（RIE）/沉积（PEVCD）等离子处理系统

5 装载互锁式（Load Lock）感应耦合等离子（ICP）处理系统

6 装载互锁式（Load Lock）感应耦合等离子（ICP）处理系统

7 双色金属电刻字机DK-108

8 双色金属电刻字机 SDK-50B

9 防水电子台称D31XW-150-VL

10 电子握力计M402858

11 电镜纳米图形发生器（电子束曝光系统）

12 JC502-17G单面光刻机 高精度光刻机 台式光刻机

13 usupetor激光蚀刻机

14 双色电刻机SHBW-1

15 双色电刻机(灵巧型）电刻仪 机械零件刻字机 便携式刻字机