Rtec-NMIS压痕和划痕测试仪，配备6容易互换的机械头，高倍率显微镜和成像模块（AFM和3维形貌仪）。
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6种机械头
•纳米划痕头 - 通常使用的纳米厚度的薄膜和超薄涂层（DLC，ALD，太阳能薄膜（ITO），光学镀膜等）
•微压痕头 -用来测量硬度，薄膜、涂层和块体材料的杨氏模量
•微划痕头 - 通常为微米级厚度的涂层（PVD，CVD，涂料，装饰涂料等）
•宏刮头 - 通常用于厚的涂层和块体材料
•微米/纳米摩擦学头 - 用于测量磨损，静态和动态摩擦，寿命，附着力，粘滑，等（薄膜和厚膜/涂层和块体材料）
特点和亮点
该平台配有防振台，隔声隔热外罩，以确保环境的稳定
•3板式电容传感器实现超高精度的位移测量
•用户自定义的分析算法或模型来计算材料的性能
•ASTM，DIN和ISO标准