Cascade Microtech 的 M150测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台；采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性；M150 可提供三种预配置的探针台，均针对您的应用及预算而优化；您可以通过确定最适合自己当前需要的 M150 模块来设计特有的探针台，或对自己现用的 M150 进行升级以满足未来的测量需求。
Cascade M150探针台
用于实现灵活性和不打任何折扣之精度的新标准
Cascade Microtech 的 M150测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。M150 可提供三种预配置的探针台，均针对您的应用及预算而优化。您可以通过确定最适合自己当前需要的 M150 模块来设计特有的探针台，或对自己现用的 M150 进行升级以满足未来的测量需求。
主要特点
1. 结构简单、多功能；
2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米测量；
3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级；
4. 量程大、可配探针配件；
标准平台规格参数：
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基座
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基本尺寸
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含升高板的尺寸
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面积
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Z轴可移动范围
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标准平台
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675mm x675mm
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825mm x675mm
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1960cm2
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5.5mm
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多功能平台
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825mm x675mm
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847mm x758mm
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2700cm2
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X-Y-θ平台
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XY范围
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最小步长
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θ范围
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晶圆范围
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真空运行平台
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155mm x155mm
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3μm
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+/- 60°
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70mm
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标准平台
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155mm x155mm
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2μm
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+45°(CCW) , - 90°(CW)
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250mm
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快速运行平台
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155mm x155mm
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1μm
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+45°(CCW) , - 90°(CW)
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275mm
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DUT支架
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卡盘
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基底
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平整度
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三轴接头
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绝缘层
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附加卡盘
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150mm卡盘
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150mm真空卡盘
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晶圆，陶瓷
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＜10μm
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Yes
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＞100GΩ
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2个独立的卡盘，且还有一个附加卡盘
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PCB
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150mm宽支架
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PCB，移动装置
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NA
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NA
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NA
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NA
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显微镜支架
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移动范围(XY)
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Z方向
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最小步长
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臂式支架
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＞150mm x 150mm
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NA
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NA
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LAHS显微镜支架
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150mm x 150mm
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可选，最大为100mm
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2μm
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应用
优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS和光学工程测量；M150也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用(WLR)，能同时配备多达20个探针座。