数字图像扫描系统:样品上每个像素发出的成像信号,被图像探测器探测器后,经过前置放大器,和视频放大器放大,直接进行信号数字化,然后存储在图像采集卡的帧存器,形成数字图像数据,图像数据可被电镜操作软件读取,操作者在图形交互界面(GUI)上对图像进行调整控制,并把调整好的数字图像存储在计算机中硬盘中。
模拟控制是控制信号不经过计算机软件,直接由操作台按键旋钮等对执行机构进行控制,属于人工手动控制,控制精度由操作者观察仪表盘的变化决定.例如高压电源,扫描线圈,探测器电源,电子枪控制,磁透镜控制,样品台的运动控制等等。
数字控制是所有控制指令输入到交互控制软件,然后由计算机对执行机构发出精确的数字指令.绝大部扫描电镜参数可实现了软件自动调整,如自动聚焦,亮度对比度,自动消象散,自动电子枪发射饱和,自动电子枪对中,自动物镜光阑合轴等。如果扫描电镜所检测的是同一类形状和材质的样品,那么程序自动控制可以实现不需要操作人员的任何干预,从而获得最佳图像质量,这在半导体芯片制造流水线早已普遍使用。由于实验室扫描电镜所面临的样品形状材质种类较多,从成像机理上差别很大,程序控制往往不尽如人意,获得好的图像质量,往往需要操作者对电镜参数进行调整干预,调整后的电镜工作参数,可以保存成可执行控制文件,随时供今后分析同一类型样品时调用。
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