|
微电子面积测量仪主要技术参数：
1一次最大测量面积
500A型≤500cm2——共分三档0～500cm20～300cm20～150cm
300A型≤300cm2——共分二档0～300cm20～150cm
2测量误差——不大于满刻度的±3%
3显示方式——LCD液晶显示
4分辨率——最小分辨率1cm
5有累加存贮功能——最大存贮面积值为65535cm
6有显示存贮功能
8外形尺寸：
500A型 420×340×110(mm)
300A型 340×300×100(mm)
9仪器重量
500A型2.7kg
300A型1.8kg
测量范围：
|
测量范围CM2
|
测量误差CM2
|
|
0－150
|
±5
|
|
0－300
|
±9
|
|
0－500
|
±15
|
|