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附带自动透镜功能的自动激光聚焦
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独特的、自动样品摆放系统
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激光扫描单键启动
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消除样品碰击Z轴的机会
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改善DIM的聚焦过程
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标准激光聚焦
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标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自动寻找正确的Z轴位置，提高分析再现性，结果不受人为操作的影响
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Z轴聚焦扫描单键启动
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改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程
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微小准直器
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仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以最优化测量，并提高测量效率
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备有各种规格准直器(0.015mm – 0.5mm),园形或矩形供客户选用
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多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器
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大样品室设计
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方便超大样品的推拉式平台：如大面积PCB板、较长的管材样品
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大型开发式样品室：方便于从各方向进样和观察样品
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三种样品台备选：可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台
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标准配置自动化Z轴：最大高度230mm
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集成化计算机
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工作站式设计：改善人机工程学、方便使用
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简化设备安装：仅需要接入主电源线，没有其他电缆
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减少整机占用空间
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USB和Ethernet接口：打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能
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其他硬件特点
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CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能，可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测
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温度补偿功能监测系统温度，并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移，保证长期的仪器稳定性
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光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性
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坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境
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一体化工作站设计实现最佳的人机工程学
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