UltraDamp超高阻尼空气隔振器适用于大型设备\LCD\光刻机
TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的手选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston?、MaxDamp?和UltraDamp?隔振器,它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择,适合各种应用。
这些隔振器是OEM应用的理想选择,采用模块化、可互换和可升级的设计。此外,为了确保您定的版本能够满足您的稳定时间和隔振要求,TMC工程师可以使用我们的“移动工作台应用程序模型”为您的配置进行建模。
UltraDamp超高阻尼空气隔振器适用于大型设备\LCD\光刻机
UltraDamp?隔振器
TMC现在提供更主动的阻尼UltraDamp?。适用于需要快速稳定you效载荷的高力、高速XY dian动工作台的you效载荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平,可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力dian动工作台的仪器。
优点:
结合了自调平Gimbal Piston?空气隔振器的优点,并具有极其主动的阻尼作用
非常适合具有机器人运动或dian动工作台的you效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定you效负载引起的运动
更快的工具吞吐量和高的产量
从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振
共振的zui小放大(3-5 dB) 模块化设计。可升级到Electro-Damp?主动消振
性能:
比较GimbalPiston?、MaxDamp?和UltraDamp?之间的阻尼水平
UltraDamp超高阻尼空气隔振器适用于大型设备\LCD\光刻机
1) 激光控制:激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等2) 探测器:光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等3) 定位与加工:纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等4) 光源:半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器、太阳光模拟器等等5) 光机械件:用于光路系统搭建的高品质无应力光机械件,如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等6) 光学平台:主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等7) 光学元件:各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等8) 染料:激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等