泄漏率：≤0.001vol%/h； 电磁阀采用模块化设计，泄漏率降低，更换方便； 带滑动托盘的大过渡舱，过渡舱门设计独特，轻巧、开启方便； GP-20惰性气体净化系统； SIEMENS微控制器； SIEMENS操作触摸屏幕，易于进入各功能； 数据备忘录：自动记录系统数据；脚踏代替手动调节压力控制； 全不锈钢气体流量管道及配件； EDWARDS RV12真空泵； 自动压力控制，工作气压可设定在±12mbar范围； 高低可调式支架； 方便移动的可调脚轮； 带防反射膜的灯罩。