用于对微小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有耐压高、精度高，可选模拟或数字电路，稳定性好，可靠性高。
用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。