BZH 4寸晶圆盒PFA花篮本底低耐腐蚀半导体导片玻璃承载器
PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,BZH 4寸晶圆盒PFA花篮本底低耐腐蚀半导体导片玻璃承载器,特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,能做激光雕刻,能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
参数
名称 | 规格 | 耐温性 | 应用 |
PFA花篮 PP Cassette | 2寸 | -200~260℃ | 酸碱传输制程 |
4寸 |
6寸 |
三、特点
1.耐腐蚀:BZH 4寸晶圆盒PFA花篮本底低耐腐蚀半导体导片玻璃承载器
2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温:-200~260℃
4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染
7.化学性能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验,公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发,截止现在,BZH显影花篮低4寸PFA晶圆盒承载硅片无污染耐强酸碱,公司还推出光伏用--太阳能硅片花篮,太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花