光栅测长机是一种高精度测量设备,常用于工业生产中对物体长度、角度和位置等参数的精确测量。其原理是利用光栅的干涉作用,通过光电检测器将光信号转化为电信号,并经过计算得出被测物体的尺寸。具有高精度、高速度、非接触式测量等优点,应用于机械加工、电子制造、半导体生产等领域。其测量精度通常可达到亚微米级别,可以满足大多数工业生产对尺寸精度的要求。
中图仪器SJ5160测长机测长仪采用超高精度光栅式全自动接触式测量,零膨胀超高精度光栅测量系统,分辨力达到0.001μm,测量精度高。
性能特点
1. 全程直接测量:
中图仪器SJ5160测长机测长仪采用超高精度进口长玻璃光栅尺作为长度方向定位,可进行符合阿贝原理超高精度全自动测量。
2. 高精度、高稳定性:
1)零膨胀超高精度光栅测量系统,分辨力达到0.001μm,测量精度高;
2)高精密特制研磨级直线导轨系统,导轨直线度高,导轨材料耐磨性好、系统高精度稳定可靠的工作;
3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆,测试数据的真实采集;
4)采用高精度稳定的大理石基座,在头座及五轴工作台的移动过程中不会产生变形以及仪器不受外界震动干扰,仪器的稳定可靠;
3. 全自动调节双向高精度电子恒测力系统:
1) 全自动调节双向高精度电子恒测力系统,采用特殊及双向受力弹性结构,测力恒定性好,减小了测力对测量结果的影响,全自动伺服驱动控制测力及光栅反馈测力位置,高的系统测量重复性精度;
2) 电子测力通过调节杆全自动伺服驱动系统控制连续可调;
3) 电子测力传感器原理避免了仪器台面不水平及环境振动引起的测力变化带来的测量误差。
4. 零测力修正系统:
1) 准确的电子测力技术,能准确的读取到当前的;
2) 零测量力修正,根据被测件测量时的测针、测帽形状及被测件尺寸进行测力变形量修正。
5. 全自动测量系统:
1) 带自动扫描功能,可自动扫描各种量规、量块、量具,根据软件自动定义流程进行全自动、半自动扫描;
2) 智能测力检测系统,防止误操作撞机,测力接触自动停止,自动采样并自动得到测量结果。
6. 智能化管理与检测软件系统:
1)仪器操作界面友好,操作者很容易即可基本掌握仪器操作,使用十分简便;
2)10多年积累的实用检定软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;
3)集成众多长度标准、规程,功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询检定记录;
4)测量范围广,可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量;
5)软件配备快速找拐点指示功能,方便客户快速便携地找到被测件的拐点;
6)纯中文操作软件系统,为国内用户服务;
7)打印格式正规、美观。检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;
8)本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。
7. 高性能CNC五轴工作台:
1)X,Y,Z三轴采用高性能交叉滚子导轨:摩擦力极小,稳定性好,承载高;
2)Y轴、Z轴采用全自动直流伺服驱动系统驱动控制,光栅反馈实时位置可自动找到拐点并记录拐点位置,调节细度高,能够全自动准确的找到拐点;
3)Z轴及Y轴配置有光栅系统,可连接将数据传输到电脑,可用于锥度量规及工件的测量。
8. 高性能螺纹环规测量装置:
配置高性能超高进度螺纹环规测量装置,可测量小螺纹环规,同时可完成极小的光滑环规检测;测量重复性(2S)可达0.12μm以内;测量力为电子测力,软件界面内可自由设置,设置较小测力可用于超薄壁工件测量;
操作过程
操作者装好被测件,在检测软件上选择被测件的标准和输入被测件的规格等参数后,软件控制全自动移动头座接触被测件,全自动调整五轴工作台找到拐点,采样完成得到当前测量数据,系统可以实时显示测量结果,自动计算出被测件的各项参数(如检测螺纹规,则可换算显示出螺纹中径),并根据系统内置的标准数据库对被测件的各项参数进行合格判定,整个测量过程不超过4分钟,检测结束后自动生成检定结果。
中图仪器SJ5160测长机测长仪具有超高精度、全自动、功能强、电子测力等优点,能够检定超高精密量具、量规,如块规、环规、塞规、卡规、螺纹规。还可以检测各种高精密工件内外尺寸及高精度薄壁零件内外径尺寸等,具有超高精度、人为干扰少、稳定性强等特点。可操作性能强,是一台超高精度、全自动的光栅测长机,譬如全自动接触、智能找拐点,全自动光滑、螺纹环规、孔径测量等,操作人员在使用仪器过程中,只需将工件移动到位置,输入被测件参数,通过智能测力识别方式防误操作撞针,真正做到无损伤测量,真正实现一键测量。应用于机械制造业、工具、量具制造业及仪器仪表制造业等企业的计量室和各级计量鉴定部门。
主要技术指标
型号 | SJ5160-300A(全自动型) |
测量范围
| 外尺寸(直接:0-350mm;比较:0-350mm) 内尺寸(1-200mm) |
外尺寸示值误差 | ≤±(0.07+L/2000)μm,其中:L为被测长度,单位:mm |
外尺寸重复性(2S) | ≤0.03μm |
内尺寸重复性(2S) | ≤0.1μm(使用大小测钩);≤0.15μm(使用内尺寸测量装置) |
高分辨力 | 0.001μm |
测力 | 内测装置测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N,主测力0~12N自动连续可调 |
测量中径 | 环规200mm(标配)塞规250mm(标配) |
仪器尺寸 | 2100*800*1300mm |
仪器重量 | 300kg |
CNC五轴工作台 | 型号 | ST-60.1(CNC型、标配) |
Z轴 | 0~100mm,CNC自动 |
Y轴 | 50mm,CNC自动 |
X轴浮动 | ±10mm |
Z轴旋转 | ±4° |
Y轴摆动 | ±3° |
负载 | 大60kg |
台面尺寸 | 360mm×150mm |
应用
机械制造:在机械制造过程中,可以用来测量各种零件的尺寸和形状,以确保产品的质量和精度。
半导体制造:在半导体制造行业中,可以用来测量芯片线宽和间距等微小尺寸参数。
光学加工:在光学加工领域中,可以用来测量光学元件的表面形貌和厚度等参数。
航空航天:在航空航天领域中,可以用来测量航空器的外形和尺寸,以及检测零部件之间的配合精度。