一、产品组成构造：
（1）高真空排气台涡旋分子泵机组，前级泵双极4旋片真空泵，搭配150分子泵，空载极限压强≤1X10-4Pa。
（2）FF-100/150型脂润滑分子泵n性能更优更全n驱动一体设计n功耗低发热少n体积小重量轻。
二、产品特点：
性能更优更全
驱动一体设计
功耗低发热少
体积小重量轻
三、应用领域：
表面分析
质普检漏
科学研究
其他小型真空系统
四、高真空排气台涡旋分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。
五、高真空排气台涡旋分子泵机组的技术指标：
型号 | FF–100/150 |
抽速速率（L/S） | 140 |
进气口法兰 | DN100 LF |
DN100 CF |
排气口法兰 | KF 25 (DN) |
压缩比 | N2：107 |
H2：1×104 |
极限压强（Pa） | ＜2×10-6 (DN 100 LF) |
≤2×10-7 (DN 100 CF) |
建议启动压强（Pa） | ＜100 |
额定转速（rpm） | 5100 |
启动时间（min） | ＜2 |
轴承 | 精密脂润滑陶瓷轴承 |
振动值（mm） | ＜0.05 |
建议前级泵（L/S） | 1-2 |
充油量（ml） | 脂润滑 |
水嘴 | 内径Φ10 直插自密封 |
冷却方式 | 水冷或风冷 |
冷却水温度（℃） | ≤25 |
泵体烘烤温度（℃） | ≤100 |
环境温度（℃） | 5-40 |
润滑方式 | 脂润滑 |
安装方向 | 任意角度 |
重量（kg） | 6（LF）8（CF） |