KT-S2DQX-C--中频电源表面清…

KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机
产品简介
详细介绍
  • 参考报价:38600 产地:河南 品牌:郑科探 型号:KT-S2DQX-C 更新时间:2023/6/5

KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性

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                                                                    KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机

KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

Φ100mmX200mm

旋转速度

20转/分钟

气体流量

0—300ml/min

过程控制

触摸屏自动控制+手动调节流量

清洗时间

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室温度

小于65°C

真空计量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空计)

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。


单位名称:郑州科探仪器设备有限公司
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