KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机
KT-S2DQX-C--中频电源表面清洗离子清洗机
供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 150W |
射频频率 | 13.56MHz |
频率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50欧姆，手动匹配 |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体容积 | Φ100mmX200mm |
旋转速度 | 20转/分钟 |
气体流量 | 0—300ml/min |
过程控制 | 触摸屏自动控制+手动调节流量 |
清洗时间 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室温度 | 小于65°C |
真空计量程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计) |
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 |